在未加分析或未知用途、原理状况下更不可拆卸泵浦。通常应首先试用调整的方式解决问题。若不可以凑效，才可考虑拆解修理或拆换零部件，而且应由专业技术人员进行。在拆解泵浦的过程中，应需注意如下细节：

　　拆解拆卸的工作场地必须要保持清洁，是在净化车间内进行。
 

　　在真空泵在维修时，要*清楚泵浦中的润滑油，同时也要考虑好怎样解决废真空泵油的回收，并把真空泵油排除干净。泵浦拆卸时要用适度的工具，以防损坏零件等。拆卸时，个泵浦零件需妥善放好，并加以标示，为了组装。

　　真空泵零部件精度较高，要需注意零件外表的保护，避免划伤、碰伤等不良现象产生。在拆卸真空泵回油管时，要事前清除周边的污垢。拆卸后，回油管开口处用干净的塑料制品或石蜡制品堵住，以防杂质进到回油管内。同时需注意回油管的标示，为了组装。在拆换O型圈、油封等密封件时不使用尖锐的工具，避免损害，O型圈组装时，需注意密封圈不容许扭曲变形，要确保滑动过程中的润滑性能。

　　真空泵安装油管接头，要需注意拧紧力度适度，不可太紧。回油管道通常是铜材质制造而成，用力过度会造成油管滑牙、变形。

　　真空泵安装转子等相对重的关键零部件，理应用支撑架或是别的工具支撑住，避免滑落造成损害。