螺杆真空泵，它利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。它的优势弥补了油封式真空泵的不足，我们都称之为油封式真空泵的升级版。但是螺杆真空泵的造价也是它的不足之处。接下来主要介绍它的优点和缺点：

　　优点：

　　1、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况

　　2、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体

　　3、不耗油，无滴漏

　　4、结构简单，维护方便。

　　5、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收更便捷。

　　缺点：

　　1、由于螺杆泵加工难度大，我国使用的螺杆泵主要依靠进口，价格非常昂贵。

　　2、不适于抽除含有爆炸性的气体。

　　3、不适于抽除含氧过高的气体。

　　随着我国工业界的发展，在半导体工业、液晶显示器等工艺制造中，对清洁真空环境的要求越来越高，而传统的有油真空泵已经达不到这样的要求了。螺杆型真空泵以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点，得到越来越多制造和应用单位的重视，在干式真空泵市场中占有重要的地位。在欧美和日本等发达国家，螺杆型干式真空泵在很多领域已经越来越多的代替了传统的有油泵。

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